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余志明教授来所交流气相沉积技术

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  • 发布时间:2014-09-04 00:00
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余志明教授来所交流气相沉积技术

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本报讯(张益豪)应第二研究室邀请,中南大学余志明教授与魏秋平博士于8月19日来所进行了气相沉积技术研究的培训。产业处、八室、纳米中心及双瑞高磁等单位的技术人员参加了培训。 余志明教授1999年从瑞典皇家工学院博士毕业后被引进回国,筹建了中南大学功能薄膜材料教育部重点实验室。 魏秋平博士对中南大学功能薄膜研究室情况进行介绍,其研究方向包括减摩耐磨涂层、场发射冷阴极涂层、 光致变色涂层、生物医用涂层等,应用领域涵盖航空航天、电子、信息技术、生物工程等方面,主要研究手段是CVD(化学气相沉积)和PVD(物理气相沉积)。 余志明教授简要介绍了PECVD的原理和技术,并给出了十分具有有代表性的产业化案例。例如日本开发出了 在普通饮料瓶内表面沉积DLC膜的产业化技术,通过在饮料瓶内部通入反应气体并进行化学气相沉积的方法,形成厚10~30nm的DLC膜,所有工序由设备自动化进行并在2秒内完成。日本不仅解决了特殊基体材料狭小空间的气相沉积工艺问题,而且已推广应用至日常的食品包装中,取得了十分突出的经济效益。种种案例为表面技术的开发与应用带来了新思路和新途径。 此次培训有助于第二研究室进一步了解气相沉积技术乃至表面涂层技术的新的研究进展,为新技术的开发带来推动作用。
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